На 12-й Международной выставке вакуумной техники, материалов и технологий «ВакуумТехЭкспо-2017» установка «НИКА-2014 плазмохимия» была признана лучшим инновационным продуктом 2017 года. Установка произведена компанией «Лаборатория вакуумных технологий», которая работает на базе Технопарка «ЭЛМА» в Зеленограде.
НИКА-2014 – шлюзовая плазмохимическая установка для процессов травления или осаждения покрытий в среде высокоплотной плазмы. Плазмохимические процессы широко применяются для оборонной и радиоэлектронной промышленности – при травлении микроструктур в полупроводниковом производстве, MEMS-технологии, оптике.
Состав: камера Ø350х300 мм, генератор плазмы РПГ-250, охлаждаемый/нагреваемый стол с гелиевым теплоотводом, магнитная система. Сухая откачка. 2 модификации: плазмохимическое травление (ПХТ)/ плазмохимическое осаждение (ПХО).
«Лаборатория вакуумных технологий» – российская компания, производитель и разработчик импортозамещающей продукции: серийных установок для нанесения металлических покрытий широкого спектра, вакуумных технологических устройств. Особенностью производимой данным предприятием продукции является то, что все ее компоненты отечественные.
- Ещё больше материалов и фотографий на: https://t.me/zelenogradinfo
- БЕCПЛАТНАЯ доска объявлений: https://зеленоград-инфо.рф/ads
- Группа VK: https://vk.com/zelekinfo
